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W系列XRF

W系列微型XRF 使用多毛細管光學器件將X射線束聚焦到7.5 μm FWHM,這是使用XRF技術進行涂層厚度分析的世界最小的光束尺寸。

使用140倍放大倍率相機來測量該比例的特征; 它配有輔助的低倍率輔助相機,用于實時查看樣本和鳥瞰宏觀圖像。


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W系列微型XRF 使用多毛細管光學器件將X射線束聚焦到7.5 μm FWHM,這是使用XRF技術進行涂層厚度分析的世界最小的光束尺寸。 這使其非常適合測量樣品,例如BGA和較小的焊料凸點。 使用140倍放大倍率相機來測量該比例的特征; 它配有輔助的低倍率輔助相機,用于實時查看樣本和鳥瞰宏觀圖像。 Bowman的雙攝像頭系統使操作員可以看到整個零件,單擊圖像以使用高磁攝像頭進行縮放,然后精確定位要編程和測量的功能。



每個軸精確到小于+/-1μm的可編程XY平臺用于選擇和測量多個點; Bowman模式識別軟件和自動對焦功能也可以自動執行此操作。 系統的3D映射功能可用于查看諸如硅晶片的部件上的涂層的形貌。



W系列儀器的標準配置包括7.5μm鉬靶光學結構(可選鉻和鎢)和高分辨率、大窗口硅漂移探測器,該探測器每秒可處理超過2百萬次計數。



W 系列微型 XRF 是 Bowman XRF 儀器套件中的第 7 個型號。 與產品組合中的其他產品一樣,它同時測量多達 5 個涂層并運行先進的 Archer 軟件以根據檢測到的光子量化涂層厚度。 Archer 軟件將直觀的視覺控制與省時的快捷方式、廣泛的搜索功能和“一鍵式”報告相結合。 該軟件還簡化了用戶創建新應用程序的過程。

    X射線管: 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV
    可選:Cr或W
    探測器: 優于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測器
    輸出焦深: 固定為0.08英寸(2.03毫米)
    工作環境: 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝
    重量: 190kg(420lbs)
    可編程XYZ平臺: XYZ行程:300毫米(11.8英寸)x 400毫米(15.7英寸)x 100毫米(3.9英寸)
    XY桌面:305mm(12“)x 406mm(16”)
    X軸準確度:2.5um(100u“); X軸精確度:1um(40u“)
    Y軸準確度:3um(120u“); Y軸精確度:1um(40u“)
    Z軸準確度:1.25um(50u“); Z軸精確度:1um(40u“)
    元素測量范圍: 13號鋁元素到92號鈾元素
    分析能力: 5層(4層+基材)每層分析10種元素,
    成分分析最多可同時分析25種元素
    濾波器: 4位置一次濾波器
    數字脈沖處理: 4096 多通道數字處理器,自動死時間和逃逸峰校正
    處理器: 英特爾,酷睿i5 3470處理器(3.2GHz),8GB DDR3內存,
    微軟 Windows 10專業版,64位
    相機: 1/4''(6mm)CMOS-1280×720 VGA分辨率
    視頻放大倍率: 140X 微型、7X 數字變焦、9X 微距和表格視圖
    電源: 150W,100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
    尺寸(高 x 寬 x 深): 樣品倉尺寸:100mm(4“)x 914mm(36”)x 735mm(29“)
    外形尺寸:787mm(31“)x 940mm(37”)x 990mm(39“)
    其他新特征: Z軸防撞陣列
    自動聚焦和自動鐳射
    模式識別
    先進的自定義數據調用

W系列Micro XRF適用于:

-需要檢測晶圓,引線框架,PCB

-需要快速測量多個樣品的多個點

-期望在多個樣品上實現自動化測量

-需要符合IPC-4552、4553、4554、4556

-ASTM B568及ISO 3497

-希望升級舊的XRF性能及效率

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